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English一、機組配置
(1)JTFB-1200膠圈水冷分子泵1臺。
(2)2X-70旋片泵1臺。
(3)BSJ150L羅茨泵1臺。
(4)KF25氣動角閥2套。
(5)200擋板閥1套。
(6)高真空復合真空計1套。（包括KF40電離規、KF16熱偶規）
(7)波紋管3根。
(8)帶腳輪、圍板的機架1套。
(9)PLC控制系統1套。
(10)工作電壓：380V
二、機組外形圖
三、機組外形尺寸
一、機組配置
(1)JTFB-1200膠圈水冷分子泵1臺。
(2)2X-70旋片泵1臺。
(3)BSJ150L羅茨泵1臺。
(4)KF25氣動角閥2套。
(5)200擋板閥1套。
(6)高真空復合真空計1套。（包括KF40電離規、KF16熱偶規）
(7)波紋管3根。
(8)帶腳輪、圍板的機架1套。
(9)PLC控制系統1套。
(10)工作電壓：380V
二、機組外形圖
三、機組外形尺寸